二、多晶硅 多晶硅是许多单晶(晶粒)的聚合物。这些晶粒的排列是无序的,不同晶粒有不同的单晶取向,正压送风压力传感器,而每一晶粒内部有单晶的特征。晶粒与晶粒之间的部位叫做晶界,晶界对其电特性的影响可以通过掺杂原子浓度调节。多晶硅膜一般由低压化学气相淀积(LPVCD)法制作而成,正压送风压力传感器系统,其电阻率随掺硼原子浓度的变化而发生较大变化。多晶硅膜的电阻率比单晶硅的高,特别在低掺杂原子浓度下,多晶硅电阻率迅速升高。随掺杂原子浓度不同,其电阻率可在较宽的数值范围内变化。 多晶硅具有的压电效应:压缩时电阻下降,拉伸时电阻上升。多晶硅电阻应变灵敏系统随掺杂浓度的增加而略有下降。其中纵向应变灵敏系数大值约为金属应变计大值的30倍,为单晶硅电阻应变灵敏系数大值的1/3;横向应灵敏系数,通风正压送风压力传感器,其值随掺杂浓度出现正负变化,故一般都不采用。
前段时间有位客户问到能与隔膜正压送风压力传感器兼容的测量介质有哪些?为了方便各位新老客户更为鲜明地了解这一问题,小编我今天在这里特别做了一下总结,主要分为以下两种:一、完全兼容的介质:醋酸、酒精、、氢氧化铝、硫酸铝、氨水、氢氧化氨、啤酒,葡萄酒,威士忌、血液、苯、硼酸、钙、气体、碳酸饮料、(干燥的)、咖啡,牛奶、氮化银、氯化钠、、、杂酚油、醚类、聚、氮化铁、燃油,、甘油、、、亚麻油、,、(<65%)、油类、蔬菜汁/无机物、、污水、皂类、尿酸、铝。二、基本满足兼容条件的介质:氢氧化钙 (50%沸腾)、、氯乙酰、铬、含氯的水、磷酸(沸腾的)、海水。
压电式传感器也广泛应用在生物医学测量中,比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的,因为测量动态压力是如此普遍,所以压电传感器的应用就非常广。
除了压电传感器之外,还有利用压阻效应制造出来的压阻传感器,利用应变效应的应变式传感器等,这些不同的压力传感器利用不同的效应和不同的材料,在不同的场合能够发挥它们的用途。